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多層膜の構造

1 :名も無きマテリアルさん:2009/10/29(木) 13:27:13
Cu/Nb多層膜をマグネトロンスパッタリングで堆積したときに、
多結晶になる理由と、個々の層の結晶がほぼ垂直に成長していく
理由を教えてください。
界面はNWの関係で堆積しており、ある程度の幅のずれを結晶粒界
で補っているためにそうなると思うのですが…。
それは多層膜にH-P則があてはめられる理由でもあるのでしょうか。


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