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エッチング

165 :名も無きマテリアルさん:2007/12/15(土) 15:28:28
SiNをCF4でエッチングしたときの反応式ってどうなるのでしょうか?
SiO2は分かるのですが、SiNの反応式はどこにものっていません。
どなたか教えてください。

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