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エッチング

90 :名も無きマテリアルさん:04/06/11 16:47
SiをRIEでエッチングしたいんです。
で、CF4とO2でやろうと思うんですけど割合はどの程度がベストなんでしょうか?
あと、パターンエッチングでレジスト以外に保護膜は何がいいのでしょうか?
お願いします。



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