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ゾルゲル法

161 :名も無きマテリアルさん:03/08/02 11:17
>>160
>蒸着専門なのですがゾルゲル法に興味があるので書き込みしてみました
本当に興味があるのならもう少し勉強してから聞くように

>ゾル-ゲル法で銅、クロム等の金属膜をフィルム(300℃耐熱あり)の上に製膜することはできるのでしょうか?
結論からいうとフィルム(300℃耐熱あり)上への製膜は無理だと思われ
ゾルゲルがどのようなものかを勉強すれば理由はわかるはず
あと昔知り合いがCu配線用にゾルゲル膜を挑戦していたが還元雰囲気等で
熱処理する必要があったり、作製膜の内部が酸化したままであったりと正直難しそうだった

>あと可能であれば密着性がどれくらいあるのかご存知の範囲で教えてください。
密着性がどれくらいってどう答えればよいのかがわからん

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