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Si基板に溝?

1 :名も無きマテリアルさん:01/08/28 09:41 ID:zmcebbL2
Si基板(ウエハ)に溝を入れるような加工品があるんだけど、
これはどんな用途で使われるんでしょうか?

2 :名も無きマテリアルさん :01/08/28 10:17 ID:81qMVKCk
いろいろありすぎてそれだけじゃわかんないよ。
多分、光通信関係だと思うけど...。

もっと詳しく教えてみそ。
クライアントの名前を出せばなお結構(藁

3 :名も無きマテリアルさん:01/08/29 10:54 ID:OaSmh4wg
1です。レーザー関係に用いたいとの話です。その上にさらに層を積み重ねていきたいとか・・・
ちなみにその溝が何個もあって、その基板を横から見ると櫛状になるような加工
なんです。ど〜いうものでしょうかね?

4 :名も無きマテリアルさん:01/08/29 11:00 ID:seElgv62
>3
溝の寸法やピッチは如何ほど?

5 :名も無きマテリアルさん:01/08/29 11:54 ID:OaSmh4wg
ピッチ幅がめちゃ狭い。1μm溝の高さは100μm

6 :名も無きマテリアルさん:01/08/29 16:22 ID:JWYbp.ys
>1
薄膜の埋め込み性とかカバレッジ見るのにガンガン使ってます。
アスペクト5ぐらいだけど。10ぐらいのヤツは論文とかでしか見たことない

7 :名も無きマテリアルさん:01/08/29 23:47 ID:iBqBcYPA
>5(=1)
ん?1μm幅で深さ100μmの溝を複数本入れてるって事?
その溝と溝との間隔(=ピッチ)はどのくらいなの?
って優香、そもそも1μm幅×深さ100μmの溝ってどう
やって加工するの?Deep-RIE?(そんなん外注するか?)

8 : ◆SoLltofY :01/08/30 01:47 ID:8lEcA/rM
test

9 : ◆31SOL0D. :01/08/30 01:48 ID:8lEcA/rM
$$$

10 : ◆v9vysR.k :01/08/30 01:48 ID:8lEcA/rM
j

11 :名も無きマテリアルさん:01/08/30 08:57 ID:yyQWxwBg
1=5=11です!!
そうなんです!1μピッチ幅ごとに1μ幅の高さ100μの溝を
つけられないかって話があってね、10マイクロ幅ならエッチン
グで可能なんだけど、1μは無理なんだ。何の用途かもはっきり
しないからどうしたもんかなと・・・

12 :名も無きマテリアルさん:01/08/30 13:17 ID:NrWMiskk
>11(=1)
7ですけど、1μ幅-100μ深さができないのは分かるん
ですが、10μ幅-100μ深さのエッチングなら外注で
やっていただけるんですか?ドライエッチング?

クライアントの用途はレーザー関係と言っているなら、
それ関係ですかね?私は詳しくないんで知りませんが。
マイクロリアクターのチャネル部に思えなくもないで
すけど...。

13 :名も無きマテリアルさん:01/08/30 17:52 ID:.EoAB6/A
1です!!ええ、エッチングなら外注でやってもらえるそうですよ〜
某メーカーで話は聞きました。
マイクロリアクターってどういうものなんですか?

14 : ◆Ym.cFSPE :02/03/26 00:23


15 :名も無きマテリアルさん:02/03/26 20:09
おらっ

16 :名も無きマテリアルさん:02/04/06 14:58
tet

17 : ◆GEX.HDlw :02/04/06 21:00
テスト

18 :名も無きマテリアルさん:02/09/21 05:37
1μm溝の高さは100μmのオーダーならMEMSに使用するんじゃないのかな


19 :qq:02/09/21 05:51
http://muvc.net/jsweb/profiles.html

20 : ◆1eNMzTCvpM :02/10/10 18:43
te

21 : ◆1eNMzTCvpM :02/10/10 18:44
t

22 : ◆rI8s23SQBA :02/10/10 18:44
t

23 :山崎渉:03/01/06 15:48
(^^) 

24 :山崎渉:03/04/17 09:46
(^^)

25 :山崎渉:03/04/20 04:12
   ∧_∧
  (  ^^ )< ぬるぽ(^^)

26 :山崎渉:03/05/21 22:07
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

27 :山崎渉:03/05/28 15:03
     ∧_∧
ピュ.ー (  ^^ ) <これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄〕
  = ◎――◎                      山崎渉

28 :山崎 渉:03/07/12 12:43

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

29 :山崎 渉:03/07/15 12:36

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

30 :名も無きマテリアルさん:03/07/19 12:58
       _,.、-t―、‐t- 、._
     ,.rヘ         ヽ、
    //            iヽ  
   ./ i               !ヽ
   l l                  l l
.   l. l  jillll:''''"    "'''':llli;; ! !
.    ! l    _    _    l l
    r┤ ⊂・ ‐'    `- ・⊃ r'ヽ
    l l              l i
   i .l      人_人      l. /
    ヽ !    /::::::::::::::::ヽ    r'´
      ヽ    /_二_ヽ    l
      ヽ            / 
         ヽ        ./
         ヽ、__,. -'´


31 :名も無きマテリアルさん:03/07/19 13:01
       _,.、-t―、‐t- 、._
     ,.rヘ         ヽ、
    /            i  
    i               !
    l                  l
    l  jillll:''''"    "'''':llli;; !
    l    _    _    l
    r┤ ⊂・ ‐'    `- ・⊃ r'ヽ
    l l              l i
   i .l      人_人      l. /
    ヽ !    /::::::::::::::::ヽ    r'´
      ヽ    /_二_ヽ    l
      ヽ            / 
         ヽ        ./
         ヽ、__,. -'´


32 :ぼるじょあ ◆yBEncckFOU :03/08/02 03:22
     ∧_∧  ∧_∧
ピュ.ー (  ・3・) (  ^^ ) <これからも僕たちを応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄ ̄∪ ̄ ̄〕
  = ◎――――――◎                      山崎渉&ぼるじょあ

33 :33:03/08/02 03:25
33

34 :山崎 渉:03/08/15 18:18
    (⌒V⌒)
   │ ^ ^ │<これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  ⊂|    |つ
   (_)(_)                      山崎パン

35 : ◆9dYLE8z3D6 :04/07/30 02:53
35

36 :©αω :04/09/09 02:39
36

37 :名も無きマテリアルさん:04/10/23 22:59:59
いいスレだから盛り上げようぜ

38 :名も無きマテリアルさん:2005/05/01(日) 11:15:44
      r::::::::::::〈:::::::::)    ィ::::::ヽ
      〃::::::::::::;r‐''´:::::::::::::::::::::ヽ::ノ
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    }::::::::::::::::::::ゝ、::::::::::|∪|_ノ::;!
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【ラッキーレス】
このレスを見た人はコピペでもいいので
10分以内に3つのスレへ貼り付けてください。
そうすれば14日後好きな人から告白されるわ宝くじは当たるわ
出世しまくるわ体の悪い所全部治るわでえらい事です

39 :名も無きマテリアルさん:2005/07/19(火) 19:46:24
    r::::::::::::〈:::::::::)    ィ::::::ヽ
      〃::::::::::::;r‐''´:::::::::::::::::::::ヽ::ノ
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      `ー--' ヽ:::::::::::l l;;;;::::ノ
【ラッキーレス】
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10分以内に3つのスレへ貼り付けてください。
そうすれば14日後好きな人から告白されるわ宝くじは当たるわ
出世しまくるわ体の悪い所全部治るわでえらい事です


40 :名も無きマテリアルさん:2005/07/19(火) 20:02:48
V溝だったら光関係と思う

41 :名も無きマテリアルさん:2005/12/13(火) 08:18:24
si〜お〜れたちは〜

42 :名も無きマテリアルさん:2005/12/13(火) 13:47:04
このカキコを見たあなたは4日後不幸が訪れ44日後死にます。
それがいやならこれをコピペして5ヶ所にカキコしてください。
私の友達はこれを信じず、4日後に親が死にました。
44日後友達は行方不明に・・・・
いまだてがかりもな
<私はこのコピペを5ヶ所にはりつけました。すると7日後にかれしができ
10日後大嫌いな人が事故で入院しました。
しんじるもしんじないは勝ってです。


43 :名も無きマテリアルさん:2006/06/04(日) 12:44:17
http://academy4.2ch.net/test/read.cgi/philo/1136149825/150


44 :softbank220046082130.bbtec.net.2ch.net:2006/09/10(日) 17:34:53
erolist erolist

45 :名も無きマテリアルさん:2007/06/26(火) 01:59:43
            _,,.. -──-- 、..,__
      ト、   ,. '"           `'' 、
      |::::ヽ7  _、_,.ゝ-‐-、.,__       ト、/i
      「\_,! r'_7-─'ー-へ.,__7-、.,___ノ   |:::::/ヽ___
     ∠_:::r‐ァ'"    /´   、`ーへ7ー-、|/:::::::/
      く 7´ /  ! !  !     ',    `ヽ/ー-、-'i
       `i  !  /ヽ!、_ハ.  !  ト、!  ハ  ヽ._/、イ
     ト、, レヘノi'!ァ'r-;、 | ハ _ノ_」,.ィ' i   i  ト、
     i  ヽ,r'ーハ! ! c|`レ' 'ァーr--=r、| ハノ、__ソ、
     ヽr,く,__ニ7,,,, `ー'      !  cリ レ' ハ  ノ ハ      ,./
      ノ !、,_二ト、         `'ー''r'ー-=ニ7<彡'、._,,.. -‐''" /
      `ン、.,二ン i> 、  ^    "",.イー--=rゝく二ン´   /   だっせー
      )ヘ.,__r'ヽ/   i``iァ-==7´/ !二___ン´  )'   ,.: '´
        ソ`r'i  r'ヽr、,.-‐ァ' /  )-'ヽ.__,,.. -‐''"´        晒しage
         ,. -`ト、 !:::-ン、ー::::i-'      ':,
       <__/:::`i>r'」 !ゝ::;」-、_  i   .ゝ、
        r'_,.>-‐|   ', i / `ーへ二ゝ、r'_/-'
     ,.r'「´_,,. -‐'|    Y /    ,ハ/、::::::7 `''ーァ
  ,.--、!」     /ゝr-‐'ハ'--、.,_ /   `''く>-'‐‐ァ
  i   ヽ-、     `ー' ゝ、.,_ン',!-、     `ヽト、」
.  ':,   Y,」>-、,__/ ノ>-ァ   /   Y     ヽ、!」
   ヽ.,__ノ-'ゝ-r-へ、.,`'__  r7   ,'    __,r/r'
          ` ̄^'ー-/二7i    /___,rニ7--'´
                  `''ー‐'

46 :名も無きマテリアルさん:2007/06/26(火) 02:01:09
            _,,.. -──-- 、..,__
      ト、   ,. '"           `'' 、
      |::::ヽ7  _、_,.ゝ-‐-、.,__       ト、/i
      「\_,! r'_7-─'ー-へ.,__7-、.,___ノ   |:::::/ヽ___
     ∠_:::r‐ァ'"    /´   、`ーへ7ー-、|/:::::::/
      く 7´ /  ! !  !     ',    `ヽ/ー-、-'i
       `i  !  /ヽ!、_ハ.  !  ト、!  ハ  ヽ._/、イ
     ト、, レヘノi'!ァ'r-;、 | ハ _ノ_」,.ィ' i   i  ト、
     i  ヽ,r'ーハ! ! c|`レ' 'ァーr--=r、| ハノ、__ソ、
     ヽr,く,__ニ7,,,, `ー'      !  cリ レ' ハ  ノ ハ      ,./
      ノ !、,_二ト、         `'ー''r'ー-=ニ7<彡'、._,,.. -‐''" /
      `ン、.,二ン i> 、  ^    "",.イー--=rゝく二ン´   /    くそ・・・
      )ヘ.,__r'ヽ/   i``iァ-==7´/ !二___ン´  )'   ,.: '´
        ソ`r'i  r'ヽr、,.-‐ァ' /  )-'ヽ.__,,.. -‐''"´
         ,. -`ト、 !:::-ン、ー::::i-'      ':,
       <__/:::`i>r'」 !ゝ::;」-、_  i   .ゝ、
        r'_,.>-‐|   ', i / `ーへ二ゝ、r'_/-'
     ,.r'「´_,,. -‐'|    Y /    ,ハ/、::::::7 `''ーァ
  ,.--、!」     /ゝr-‐'ハ'--、.,_ /   `''く>-'‐‐ァ
  i   ヽ-、     `ー' ゝ、.,_ン',!-、     `ヽト、」
.  ':,   Y,」>-、,__/ ノ>-ァ   /   Y     ヽ、!」
   ヽ.,__ノ-'ゝ-r-へ、.,`'__  r7   ,'    __,r/r'
          ` ̄^'ー-/二7i    /___,rニ7--'´
                  `''ー‐'

47 :名も無きマテリアルさん:2008/10/18(土) 01:24:02
終わるなら明日終わりたい

48 :名も無きマテリアルさん:2008/10/19(日) 21:22:20
穏やかに離れていこう…

49 :名も無きマテリアルさん:2008/11/03(月) 16:09:13
これでいいんだ
元々俺になんて何もない

50 :名も無きマテリアルさん:2008/11/06(木) 00:40:52
これでいいんだ…

51 :名も無きマテリアルさん:2008/11/08(土) 01:42:42
さよなら

52 :名も無きマテリアルさん:2008/11/08(土) 22:21:09
最低の1日だった
死にたい

53 :名も無きマテリアルさん:2008/11/16(日) 03:14:41
何もかももう嫌だ
誰か助けてくれ

54 :名も無きマテリアルさん:2008/11/23(日) 16:21:18
死にたい

55 :名も無きマテリアルさん:2008/12/05(金) 22:09:34
頼むから死なせてくれ

56 :名も無きマテリアルさん:2008/12/19(金) 22:59:41
もう生きていたくない
死にたい、死ぬのが1番いい

57 :名も無きマテリアルさん:2009/01/04(日) 22:06:22
終わっちゃった…
最高に欝

58 :名も無きマテリアルさん:2009/01/10(土) 22:26:12
心が寒い
死にたい
そう思わない日がない

59 :名も無きマテリアルさん:2009/01/18(日) 01:02:59
何で生きてるんだろう

60 :名も無きマテリアルさん:2009/01/25(日) 01:28:19
死んで終わって
もうそれでいいじゃないか

61 :名も無きマテリアルさん:2009/03/09(月) 20:18:43
鬱すぎる
もう本当に死なせて

62 :名も無きマテリアルさん:2009/03/16(月) 23:52:40
本当にもう死なせて
頼むわ

63 :p2155-ipbfp4002osakakita.osaka.ocn.ne.jp:2009/05/02(土) 13:11:40
test

64 :名も無きマテリアルさん:2009/05/16(土) 16:12:22
イキロ

65 :名も無きマテリアルさん:2009/05/17(日) 11:01:15
DFBレーザーじゃね

66 :名も無きマテリアルさん:2009/05/26(火) 23:12:13
ここも見つかったか
引っ越そう

67 :名も無きマテリアルさん:2009/08/21(金) 22:17:27
>>42
そのコピペよく見かけるんだけど、もう見て一年くらい経ってるけど(最初の)
何にもおこらない
コピペなんて夢の話
ネットで人生左右されたら人間終わり

でしょ?

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